TY - CONF
T1 - Dry etching and surface passivation techniques for type-II InAs/GaSb superlattice infrared detectors
JO - Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
PY - 2010/01/01
AU - Tan SL
AU - Goh YL
AU - Das SD
AU - Zhang S
AU - Tan CH
AU - David JPR
AU - Gautam N
AU - Kim H
AU - Plis E
AU - Krishna S
ED -
DO - DOI: 10.1117/12.864787
SN - 9780819483560
VL - 7838
Y2 - 2025/07/30
ER -